Результаты поиска:

ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ РАЗМЕРНАЯ ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ, Том 39 (2003), Номер 2, стр. 4-10

Освоение и последующее развитие применения различных видов электроэрозионных методов на предприятиях Тулы

Усов В.С., Тимофеев Ю.С., Усов С.В.

Скачать полнотекстовый PDF. 2823 скачиваний
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ТЕХНИКЕ И ХИМИИ, Том 38 (2002), Номер 6, стр. 39-42

Характеристики процесса ионно-химического травления монокристаллического кремния плазмой комбинированного разряда

Бордусов С.В.

Скачать полнотекстовый PDF. 2497 скачиваний
Том 59 (2023), Номер 4, стр. 54-64 , https://doi.org/10.52577/eom.2023.59.4.54

Промышленное применение метода алмазно-электрохимического хонингования

Усов С.В., Точилин И.П., Жданов А.В.

Скачать полнотекстовый PDF. 175 скачиваний
ИЗ ОПЫТА РАБОТЫ, Том 37 (2001), Номер 6, стр. 80-83

Высокоскоростное удаление фоторезистивных пленок в послесвечении СВЧ разряда в кислороде

Бордусов С.В.

Скачать полнотекстовый PDF. 539 скачиваний
ОБОРУДОВАНИЕ И ПРИБОРЫ, Том 38 (2002), Номер 1, стр. 79-82

Классификация СВЧ плазмотронов для производства изделий электронной техники

Бордусов С.В.

Скачать полнотекстовый PDF. 688 скачиваний
ИЗ ОПЫТА РАБОТЫ, Том 37 (2001), Номер 2, стр. 48-81

Диагностика удаления фоторезиста с поверхности подложек интегральных схем плазмой СВЧ-разряда в кислороде с использованием оптической спектроскопии процесса

Бордусов С.В.

Скачать полнотекстовый PDF. 629 скачиваний
ОБОРУДОВАНИЕ И ПРИБОРЫ, Том 37 (2001), Номер 1, стр. 74-76

Малогабаритная СВЧ-плазменная установка с резонатором прямоугольной формы

Бордусов С.В.

Скачать полнотекстовый PDF. 886 скачиваний
ИЗ ОПЫТА РАБОТЫ, Том 37 (2001), Номер 3, стр. 72-78

СВЧ-плазменные процессы в микроэлектронной технологии

Бордусов С.В.

Скачать полнотекстовый PDF. 624 скачиваний
ИЗ ОПЫТА РАБОТЫ, Том 38 (2002), Номер 5, стр. 78-80

Влияние на фоторезистивный материал СВЧ плазмохимической обработки

Бордусов С.В., Зубарева М.М., Сушко Н.И.

Скачать полнотекстовый PDF. 2510 скачиваний

Menu

Результаты поиска: