научный журнал
Электронная обработка материалов
ISSN 0013-5739 (Print) 2345-1718 (Online)
En
Ru
Menu
Том 37 (2001), Номер 3, стр. 72-78
ИЗ ОПЫТА РАБОТЫ
СВЧ-плазменные процессы в микроэлектронной технологии
Аннотация
УДК 621.382.002
Представлена информация обзорного характера о применении плазмы СВЧ-разряда в технологических процессах производства изделий микроэлектроники. Указаны области технического применения СВЧ-разрядов, приводятся основные характеристики формируемых под их воздействием структур.
Microwave plasma discharge applications in manufacturing of microelectronic products are reviewed. Some characteristics and material treatment conditions with microwave discharge technologies are considered.
Скачать полнотекстовый PDF. 624 скачиваний
Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.