научный журнал
Электронная обработка материалов
ISSN 0013-5739 (Print) 2345-1718 (Online)

Menu

Результаты поиска:

  1. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ТЕХНИКЕ И ХИМИИ, Том 38 (2002), Номер 6, стр. 39-42

    Характеристики процесса ионно-химического травления монокристаллического кремния плазмой комбинированного разряда

    Бордусов С.В.

    Скачать полнотекстовый PDF. 3388 скачиваний

  2. ИЗ ОПЫТА РАБОТЫ, Том 37 (2001), Номер 6, стр. 80-83

    Высокоскоростное удаление фоторезистивных пленок в послесвечении СВЧ разряда в кислороде

    Бордусов С.В.

    Скачать полнотекстовый PDF. 1015 скачиваний

  3. ОБОРУДОВАНИЕ И ПРИБОРЫ, Том 38 (2002), Номер 1, стр. 79-82

    Классификация СВЧ плазмотронов для производства изделий электронной техники

    Бордусов С.В.

    Скачать полнотекстовый PDF. 1238 скачиваний

  4. ИЗ ОПЫТА РАБОТЫ, Том 37 (2001), Номер 2, стр. 48-81

    Диагностика удаления фоторезиста с поверхности подложек интегральных схем плазмой СВЧ-разряда в кислороде с использованием оптической спектроскопии процесса

    Бордусов С.В.

    Скачать полнотекстовый PDF. 1181 скачиваний

  5. ОБОРУДОВАНИЕ И ПРИБОРЫ, Том 37 (2001), Номер 1, стр. 74-76

    Малогабаритная СВЧ-плазменная установка с резонатором прямоугольной формы

    Бордусов С.В.

    Скачать полнотекстовый PDF. 1439 скачиваний

  6. ИЗ ОПЫТА РАБОТЫ, Том 37 (2001), Номер 3, стр. 72-78

    СВЧ-плазменные процессы в микроэлектронной технологии

    Бордусов С.В.

    Скачать полнотекстовый PDF. 1241 скачиваний

  7. ИЗ ОПЫТА РАБОТЫ, Том 38 (2002), Номер 5, стр. 78-80

    Влияние на фоторезистивный материал СВЧ плазмохимической обработки

    Бордусов С.В., Зубарева М.М., Сушко Н.И.

    Скачать полнотекстовый PDF. 3434 скачиваний

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.