Исследование диффузии, растворимости и электрических свойств гадолиния в кремнии

Аннотация

УДК 621.315.592.3:546.28’65

Впервые проведены комплексные (методами меченых атомов и авторадиографии, измерения проводимости и эффекта Холла, изотермической релаксации емкости и тока) исследования диффузии, растворимости и электрических свойств гадолиния в кремнии при различных средах отжига и для широкого интервала температур (1100-1250^oС). Установлены диффузионные параметры, растворимость и выявлена акцепторная природа примесей гадолиния в кремнии.

For the first time is complex (for the first time is methods of radioactive traces and autoradiography, measuring of conductivity and Hall effect, of an iso-thermal relaxation of capacity and current) the diffusion, solubility and electrical properties gadolinium in silicon is explored at various mediums of annealing and for a wide interval of temperatures (1100-1250^oС). The diffusion parameters are established, the solubility and is detected an acceptor nature of explored impurities of gadolinium in silicon.

Скачать полнотекстовый PDF. 3036 скачиваний

Menu

Том 42 (2006), Номер 6, стр. 76-79

Исследование диффузии, растворимости и электрических свойств гадолиния в кремнии

Аннотация