Диффузия, растворимость и электрические свойства самария и иттербия в кремнии

Зайнабидинов С., Назыров Д.Э., Базарбаев М.И.

Аннотация

УДК 621.315.592.3:546.28’65

Исследована диффузия самария и иттербия в кремнии при различных средах отжига и для широкого интервала температур (1100-1250^oС). Установлены диффузионные параметры и выявлена акцепторная природа исследованных примесей в кремнии.

Investigation of diffusive properties of Sm and Yb in Si under different mediums and wide temperature intervals (1100-1250^oC) was performed. Diffusive parameters of Sm and Yb in silicon, it's acceptor nature was determined.

Скачать полнотекстовый PDF. 3204 скачиваний

Menu

Том 42 (2006), Номер 4, стр. 90-92

Диффузия, растворимость и электрические свойства самария и иттербия в кремнии

Аннотация