En
Ru
Том 46 (2010), Номер 2, стр. 61-66
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ТЕХНИКЕ И ХИМИИ
Эффект загрузки при травлении пленки полипропилена в плазме смесей кислорода с азотом
Аннотация
УДК 621.382:537.525
Приводятся результаты исследований эффекта загрузки при воздействии низкотемпературной плазмы смесей кислорода с азотом на поверхность пленки полипропилена (ПП). В работе использованы гравиметрический метод – для изучения кинетики травления материала и метод Фурье–ИК - спектроскопии МНПВО – для исследования состава функциональных групп на поверхности ПП. Эффект загрузки проявляется во всей области составов газа и сопровождается ростом содержания функциональных групп в модифицированном слое (двойных связей – при любом составе газа, кислородсодержащих либо азотсодержащих – определяется составом смеси). В общем случае эффект загрузки более выражен тогда, когда исходный газ содержит меньшее количество кислорода. Степень этой зависимости сильно различается на разных интервалах соотношений O2:N2, что, по-видимому, связано с экстремальным характером изменений в потоках активных частиц из плазмы на образец. При доле O2 в смеси от 100% до 10% влияние состава газа на эффект загрузки относительно невелико, увеличение степени загрузки приводит к росту концентрации кислородсодержащих групп на поверхности, азотсодержащие группы не регистрируются. При доле O2 в смеси ниже 10% взаимное влияние объемных и гетерогенных процессов значительно возрастает. Из-за дефицита кислорода в реакцию травления вступают пары воды, наряду с окислением происходит азотирование поверхности полимера. Имеет место конкуренция процессов окисления и азотирования, которая проявляется тем сильнее, чем больше степень загрузки реактора.
The study results of loading effect when acting a low temperature plasma of oxygen - nitrogen mixtures on the surface of polypropylene (PP) film are resulted. Gravimetric technique for research of etching process kinetics was used. The surface properties of PP were characterized by Fourier Transform Infrared by Attenuated Total Reflectance (FT-IR/ATR). Loading effect was appeared in all range of gas compounds. It accompanied by growth of functional groups content in the modified layer. In the general case loading effect is more expressed if the initial gas contents less of oxygen. A degree of this dependence differs strongly in different intervals of O2:N2 relation owing to extreme kind of changes of active particles flows from plasma in the sample PP. Influence of gas composition on loading effect is relatively small when O2 portion in mixture constitutes 100-10%. Load extent increase results in growth of concentration of oxygen-containing groups, nitrogen-contaning groups were not registered. Interference of heterogeneous and volumetric processes enhances considerably if O2 portion in mixture is lower then 10%. Water vapors enter into a reactions of etching because of the oxygen deficit. Nitriding of the surface occurs along with oxidation of it. Competition of this processes exhibits more strongly when load extent is increased.
Скачать полнотекстовый PDF. 3202 скачиваний
Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.