Закономерности формообразования поверхности при бесконтактном химико-механическом полировании пластин

Григорьев Н.Н., Кравецкий М.Ю., Пащенко Г.А., Сыпко С.А., Фомин А.В.

Аннотация

УДК 541.124:621.9.047.4:548.0

Предлагается методика технологического эксперимента, которая позволяет установить физико-химические процессы, происходящие при химико-гидродинамическом бесконтактном полировании поверхности кристаллов. Для модельного описания процессов в стационарном случае используется уравнение баланса диффузионного, конвективного и химического потоков. Получено аналитическое выражение, связывающее форму поверхности обрабатываемого материала с физическими параметрами процессов, протекающими при полировании. Установлено, что макрорельеф обработанной поверхности зависит от скорости движения полировальника, величины зазора между обрабатываемой пластиной и полировальником и диффузии активной компоненты в травильном растворе. Для рассматриваемых условий обработки это позволяет ожидать образования одинаковой формы поверхности для разных материалов независимо от концентрации активной компоненты и константы химической реакции. Сравнение экспериментальных профилограмм обработанных поверхностей и теоретических зависимостей показало их удовлетворительное согласие.

A technological experiment is proposed to establish physical and chemical processes providing chemical hydrodynamic non-contact polishing crystal surface. To describe the processes a balance equation of diffusion, convective and active components of etching fluxes is used. An analytical expression of a relationship between a shape of the surface of the treated material and physical parameters of the processes is obtained. It was established that a macrorelief of the treated surface depends only on a speed of relative moving of the pad and a treated specimen, a distance between the pad and the specimen and a diffusion coefficient of active component in etching solution. Therefore, the shape of the treated surface does not depend on the treated material concentration of active components and a constant of chemical reaction. A good agreement the calculated processes and experimental ones was achieved.

Скачать полнотекстовый PDF. 620 скачиваний

Menu

Том 38 (2002), Номер 6, стр. 12-17

Закономерности формообразования поверхности при бесконтактном химико-механическом полировании пластин

Аннотация