Импульсная анодно-катодная электрохимическая микрообработка при наличии изолирующих масок

Аннотация

УДК 541.138.2+621.9.047.7

Описаны результаты экспериментального исследования импульсной анодно-катодной электрохимической микрообработки малоуглеродистой стали в растворе 1M NaCl, pH = 1,0 при наличии изолирующих масок. Показано, что использование анодно-катодной микрообработки приводит к значительному увеличению локализации травления (при обработке постоянным током фактор травления EF ~ 3,0, а при анодно-катодной обработке EF ~ 6,0). Предложен метод комбинированной микрообработки (анодно-катодная обработка + обработка при постоянном токе). Метод позволяет увеличить локализацию травления при сохранении высокой скорости процесса.

Electrochemical micromachining (ECMM) of photoresist-patterned mild steel has been carried out in 1M NaCl pH = 1,0. It is shown that pulse anodic-cathodic micromachining (etching) results in significant increasing of the Etch Factor: EF ~ 3,0 at direct current and EF ~ 6,0 at anodic-cathodic micromachining. New combined method of machining (anodic-cathodic machining + direct current) has been applied. Due to this method it is possible to increase localization of dissolution (EF) at maintaining high rate of process.

Скачать полнотекстовый PDF. 544 скачиваний

Menu

Том 38 (2002), Номер 6, стр. 4-11

Импульсная анодно-катодная электрохимическая микрообработка при наличии изолирующих масок

Аннотация