Том 51 (2015), Номер 4, стр. 22-27

Вакуумно-дуговые карбонитридтитановые покрытия, осажденные из сепарированных плазменных потоков

Латушкина С.Д., Жижченко А.Г., Посылкина О.И.

Аннотация

УДК 621.793.1

Приведены результаты исследования состава, текстуры, остаточных напряжений, микротвердости вакуумно-дуговых карбонитридтитановых покрытий, осажденных из сепарированных плазменных потоков в зависимости от технологических параметров осаждения и соотношения компонентов реакционной газовой среды.

Ключевые слова: вакуумно-дуговое осаждение, карбонитридтитановые покрытия, сепарация, текстура, микротвердость, остаточные напряжения.

The composition, texture, residual stresses, and microhardness of the vacuum arc carbonitridetitanium coatings deposited from the separated plasma flows have been investigated. Their dependence of the technological deposition parameters and the reactive gas components ratio has been specified.

Keywords: vacuum arc deposition, carbonitridetitanium coatings, separation, texture, microhardness, residual stresses.

Скачать полнотекстовый PDF. 3413 скачиваний

Menu

Том 51 (2015), Номер 4, стр. 22-27

Вакуумно-дуговые карбонитридтитановые покрытия, осажденные из сепарированных плазменных потоков

Аннотация