Влияние ультразвуковых волн на адгезионную прочность золотых покрытий к кремнию

Аннотация

УДК 621.315

Рассматривается влияние воздействия ультразвуковых волн на адгезионную прочность пленок Au к кремнию n-типа с удельным сопротивлением ρ »100-200 Ом×см и временем жизни носителей τ » 500-600 мкс при температуре Т = 300 К. Показано, что эффект акустостимулированного улучшения адгезионной прочности системы металл-полупроводник происходит в основном за счет увеличения концентрации ионизованных примесей под влиянием ультразвука.

Influence of ultrasonic waves on adhesive strength of the Au-films to silicon of a n-type with specific resistivity ρ » 100-200 W×cm and time of life of carriers τ » 500-600 μs has been examined at temperature Т = 300 К. It is shown, that the effect of acoustically stimulated of improvement of the adhesive of durability of metal - semiconductor layer occurs basically at the expense of an increase of concentration ionized impurities under in samples exposed to ultrasound.

Скачать полнотекстовый PDF. 1392 скачиваний

Menu

Том 41 (2005), Номер 6, стр. 75-78

Влияние ультразвуковых волн на адгезионную прочность золотых покрытий к кремнию

Аннотация