Чувствительные термодатчики на основе сильнокомпенсированного кремния

Бахадырханов М.К., Валиев С.А., Насриддинов С.C., Тачилин С.А.

Abstract

УДК 621.315.593

Представлены результаты исследований по разработке и созданию термодатчиков на основе сильнокомпенсированного кремния, легированного Mn и S. Установлено, что термочувствительность и стабильность параметров разработанных термодатчиков существенно выше, чем у существующих самых чувствительных термодатчиков. А также, что термодатчики на основе сильнокомпенсированного кремния, легированного марганцем Si<B,Mn>, более эффективно работают в области температур Т = 100-400 К, а термодатчики на основе Si<B,S> могут успешно использоваться в области более высоких температур (Т = 200-450 К).

In work are presented the results of studies working out and the creation of thermosensor on the basis of strongly compensated silicon doped with Mn and S. It is stated that thermosensitivity and stability of parameters of worked out thermosensor is high than the existing sensitive thermosensor. It is stated, that thermosensor on the basis of strongly compensated silicon doped with manganese Si<B,Mn> more effectively work in the field of temperature Т=100-400 ⁰К and thermosensor on bass of Si<B,S>, can be successfully used in the field of more high temperature Т=200-450 ⁰К.

Download full-text PDF. 3070 downloads

Menu

Vol. 43 (2007), Issue 6, p. 111-113

Чувствительные термодатчики на основе сильнокомпенсированного кремния

Abstract