Electrochemical Micromachining Using Vibratile Tungsten Wire for High-Aspect-Ratio Microstructures

Abstract

УДК 621.9.047.7

Electrochemical micromachining can remove electrically conductive materials with the transferring of ions, so that high precision is achievable. A novel method for fabricating high-aspect-ratio microstructures by electrochemical micromachining using vibratile tungsten wire was proposed in this paper. The slight vibration of tungsten wire can improve the machining stability. The relations between the machining accuracy and machining parameters were experimentally studied. Micro groove with the width of 15µm was machined, and micro sharp-angles structure with aspect ratio of 10 was obtained experimentally.

Электрохимическая микрообработка позволяет обрабатывать электропроводные материалы с переносом ионов в раствор и высокой точностью обработки. В настоящей статье описан новый метод получения микроструктур с высоким отношением высоты профиля к его ширине использованием электрохимической микрообработки вибрирующей вольфрамовой проволокой. Показано, что незначительная вибрация вольфрамовой проволоки улучшает стабильность обработки. Экспериментально определены соотношения между точностью обработки и параметрами процесса. Экспериментально получены микропазы шириной 15 мкм при обработке микроструктур с отношением высоты профиля к его ширине, равном 10.

Download full-text PDF. 3695 downloads

Menu

Vol. 46 (2010), Issue 5, p. 5-10

Electrochemical Micromachining Using Vibratile Tungsten Wire for High-Aspect-Ratio Microstructures

Abstract