Vol. 56 (2020), Issue 6, p. 51-60

Дифракционные структуры, сформированные двумя скрещенными наложенными дифракционными решетками

Abstract

УДК 535.421

Изучены дифракционные картины, продуцируемые рельефными структурами, состоящими из двух идентичных скрещенных наложенных дифракционных решеток, сформированных в пленках As₂S₃ с помощью электронно-лучевой записи с последующим химическим травлением. Угол взаимной ориентации дифракционных решеток с периодом 2 мкм изменялся в пределах от 2 до 90°. Для расчета дифракционных картин, продуцируемых парами скрещенных решеток, рассматривались дополнительные дифракционные решетки, сформированные узлами пересечения линий основных решеток. Дифракционная структура с круговой симметрией, состоящая из четырех скрещенных наложенных решеток с равными периодами, рассмотрена как комбинация пар скрещенных наложенных решеток. Получено хорошее совпадение рассчитанных и экспериментально наблюдаемых дифракционных картин.

Ключевые слова: скрещенные решетки, угол между решетками, узлы пересечения линий, дифракционная картина.

The diffraction patterns of surface relief diffraction structures that consisted of two crossed identical superimposed gratings formed in As₂S₃thin films by electron beam recording with subsequent chemical etching were studied. The angle between gratings with a grating period of 2 µm was varied between 2° and 90°. Additional diffraction gratings formed by a set of lines intersection nodes were considered for simulation of diffraction patterns. Diffraction structure composed of four identical crossed gratings was considered as combination of pairs of crossed gratings to calculate the diffraction pattern from it. A good agreement between experimental diffraction patterns and modeling ones was confirmed by the used method of calculation.

Keywords: crossed gratings, angle between gratings, line intersection nodes, diffraction pattern.

Download full-text PDF. 2452 downloads

Menu

Vol. 56 (2020), Issue 6, p. 51-60

Дифракционные структуры, сформированные двумя скрещенными наложенными дифракционными решетками

Abstract