Взаимодействие водородной плазмы с поверхностью различных материалов

Abstract

УДК 537.525

Предлагается методика определения вероятности гибели атомов водорода H(²S) на поверхности различных материалов методом эмиссионной спектроскопии. Получены результаты для вероятности гибели атомов в зоне положительного столба для ряда материалов, используемых в электронной промышленности (тлеющий разряд, давление 270 Па).

The technique of definition of hydrogen atom H(²S) loss probability on a surface of various materials by a radiation spectroscopy method is offered. The results for atom loss probability in a plasma zone (d.c. glow discharge, pressure 270 Pa) for a number of materials used in electronic industry are received.

Download full-text PDF. 2254 downloads

Menu

Vol. 37 (2001), Issue 5, p. 71-74

Взаимодействие водородной плазмы с поверхностью различных материалов

Abstract