Vol. 53 (2017), Issue 1, p. 97-102

Экспериментальные исследования электроразрядного датчика низкого давления

Abstract

УДК 537.58

Проанализированы ионизационные процессы в азотно-кислородной плазме низкого давления (10^-3 Па < p < 1 Па) в скрещенных электрическом и магнитном полях. Приведена методика расчета ВАХ, по которой однозначно находится давление в газе. Сравнение теории с экспериментом удовлетворительное.

Ключевые слова: ион, электрон, датчик, ионизация, вольт-амперная характеристика, давление.

The analysis of plasma chemical reactions in nitrogen–oxygen plasma with low pressure (10^-3 Pa < p < 1 Pa) is presented. A set of equations is proposed to find the VAC. It is shown that there is a possibility to determine identically the pressure in some gas through measuring the AC. The comparison between theory and experiment is satisfactory.

Keywords: ion, electron, detector, ionization, volt-ampere characteristic, pressure.

Download full-text PDF. 2230 downloads

Menu

Vol. 53 (2017), Issue 1, p. 97-102

Экспериментальные исследования электроразрядного датчика низкого давления

Abstract