ELEKTRONNAYA OBRABOTKA MATERIALOV
ISSN 0013-5739 (Print) 2345-1718 (Online)
En
Ru
Menu
Vol. 42 (2006), Issue 4, p. 90-92
OPERATING EXPERIENCE
Диффузия, растворимость и электрические свойства самария и иттербия в кремнии
Зайнабидинов С., Назыров Д.Э., Базарбаев М.И.
Abstract
УДК 621.315.592.3:546.28’65
Исследована диффузия самария и иттербия в кремнии при различных средах отжига и для широкого интервала температур (1100-1250oС). Установлены диффузионные параметры и выявлена акцепторная природа исследованных примесей в кремнии.
Investigation of diffusive properties of Sm and Yb in Si under different mediums and wide temperature intervals (1100-1250oC) was performed. Diffusive parameters of Sm and Yb in silicon, it's acceptor nature was determined.
Download full-text PDF. 3210 downloads
Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.