Энергетические спектры рассеянных ионов от дефектной поверхности InP(001) <ī10>

Abstract

УДК 537.539

Приведены результаты компьютерного моделирования рассеяния ионов Ar⁺ от ступенчатой поверхности InP(001)<ī10> при разных значениях угла падения с помощью метода аппроксимации бинарных столкновений. Получена зависимость энергии рассеянных ионов от угла их рассеяния и показано, что при малых углах падения наблюдается рассеяние от идеальной части поверхности. Увеличение угла падения приводит к рассеянию ионов от атомной ступеньки, смоделированной на поверхности. Установлено, что при рассеянии от ступенчатой поверхности в зависимости Е(θ) рассеянных ионов наблюдаются овалы, соответствующие многократному рассеянию при одном и том же угле рассеяния. Кроме того, получены энергетические спектры, подтверждающие, что с увеличением угла падения ионов появляются пики, соответствующие зеркально рассеянным, рассеянным от торцевого атома и деканалированным ионам.

Ключевые слова: рассеяние ионов, деканалирование, компьютерное моделирование, дефекты.

This paper presents the results of computer simulations of scattered Ar⁺ ions from a stepped InP(001)<ī10> surface at different incidence angles using the binary collision approximation method. The dependence of the energy of scattered ions on their scattering angle was obtained, and it is shown that at small incidence angles, scattering occurs from the ideal part of the surface. An increase in the incidence angle leads to ion scattering from the atomic step modeled on the surface. The obtained results demonstrate that, during scattering from the stepped surface, oval- shaped features appear in the E(θ) dependence of scattered ions, corresponding to multiple scattering at the same scattering angle. Energy spectra were also obtained, confirming that with increasing the incidence angle of ions, peaks appear corresponding to specularly scattered ions, ions scattered from the edge atom, and dechanneled ions.

Keywords: ion scattering, dechanneling, computer simulation, defect.

Download full-text PDF. Have not been downloaded yet.

Menu

Vol. 62 (2026), Issue 2, p. 56-60

Энергетические спектры рассеянных ионов от дефектной поверхности InP(001) <ī10>

Abstract