ELEKTRONNAYA OBRABOTKA MATERIALOV
ISSN 0013-5739 (Print) 2345-1718 (Online)
En
Ru
Menu
Vol. 36 (2000), Issue 4, p. 72-76
OPERATING EXPERIENCE
Конструкция и технология изготовления тестовой матрицы для электрофизических исследований пленочных токопроводящих систем
Abstract
УДК 621.382.12
На основе экспериментальных исследований конструктивно-технологических вариантов структур оперативного контроля разработан тестовый модуль для комплексной оценки качества и надежности пленочных токопроводящих систем СБИС, прошедший апробацию в условиях реального производства.
The drop-in and geometry design photomask for testing metallization of VLSI was constructed on base experimental investigation of construction and technology especially of array testing.
Download full-text PDF. 107 downloads
Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.