Импульсная анодно-катодная электрохимическая микрообработка при наличии изолирующих масок

Abstract

УДК 541.138.2+621.9.047.7

Описаны результаты экспериментального исследования импульсной анодно-катодной электрохимической микрообработки малоуглеродистой стали в растворе 1M NaCl, pH = 1,0 при наличии изолирующих масок. Показано, что использование анодно-катодной микрообработки приводит к значительному увеличению локализации травления (при обработке постоянным током фактор травления EF ~ 3,0, а при анодно-катодной обработке EF ~ 6,0). Предложен метод комбинированной микрообработки (анодно-катодная обработка + обработка при постоянном токе). Метод позволяет увеличить локализацию травления при сохранении высокой скорости процесса.

Electrochemical micromachining (ECMM) of photoresist-patterned mild steel has been carried out in 1M NaCl pH = 1,0. It is shown that pulse anodic-cathodic micromachining (etching) results in significant increasing of the Etch Factor: EF ~ 3,0 at direct current and EF ~ 6,0 at anodic-cathodic micromachining. New combined method of machining (anodic-cathodic machining + direct current) has been applied. Due to this method it is possible to increase localization of dissolution (EF) at maintaining high rate of process.

Download full-text PDF. 537 downloads

Menu

Vol. 38 (2002), Issue 6, p. 4-11

Импульсная анодно-катодная электрохимическая микрообработка при наличии изолирующих масок

Abstract