Vol. 52 (2016), Issue 4, p. 79-84

Развитие современных вакуумных технологий получения покрытий

Васин В.А., Крит Б.Л., Сомов О.В., Сорокин В.А., Францкевич В.П., Эпельфельд А.В.

Abstract

УДК 621.793.164

Рассмотрены современные технологии вакуумного напыления и газофазного осаждения химических соединений для защиты поверхности изделий, в частности пиролитического осаждения карбидохромовых покрытий с использованием в качестве прекурсора металлоорганических соединений.

Ключевые слова: вакуумное напыление, газофазное осаждение химических соединений, пиролитичеcкие карбидохромовые покрытия.

The article describes up-to-date vacuum deposition and chemicals gas-phase deposition technologies for the protection of an object surface, in particular – the pyrolytic deposition of chromium carbide coatings using organometallic compounds as precursors.

Keywords: vacuum deposition, gas-phase deposition of chemicals, pyrolytic chromium carbide coatings.

Download full-text PDF. 2978 downloads

Menu

Vol. 52 (2016), Issue 4, p. 79-84

Развитие современных вакуумных технологий получения покрытий

Abstract