Шелудько В.Е., Паустовский А.В., Рудь Б.М., Тельников Е.Я., Смертенко П.С., Кременицкий В.В., Захарченко И.В.
УДК 539.216.2:621.9.048.7
Приведены результаты исследования влияния импульсного лазерного излучения на морфологию поверхности и некоторые электрофизические свойства толстых плёнок на основе Ni3B, полученных методом трафаретной печати композиционных паст на диэлектрическую подложку. Воздействие импульсов наносекундной длительности способствует измельчению частиц проводящей фазы, в то время как при обработке импульсами микросекундной длительности сохраняется распределение проводящей фазы по всей поверхности. Облучение импульсами миллисекундной длительности при энергиях Е = 0,4–0,6 Дж приводит к оплавлению поверхности. Приведены вольт-амперные характеристики и зависимости электросопротивления от температуры. Лазерная обработка образцов в нано- и микросекундном диапазонах способствует работе резисторов согласно стандарту и техническим условиям, когда реализуется линейная зависимость тока от напряжения.
Ключевые слова: толстые пленки, структура поверхности, лазерная обработка, электрофизические свойства.
Cited in the article are the results of studying the pulse laser radiation influence on the surface morphology and certain electrophysical properties of Ni3B-based thick films obtained by screen-printing of composite pastes onto a dielectric substrate. The action of nanosecond pulses promotes refining the particles of the conducting phase, whereas under microsecond pulses the distribution of the conducting phase remains the same on the entire surface. The irradiation with millisecond pulses, at the energy of Е = 0.4–0.6 J, results in surface flowing. Voltage-current characteristics and dependence of electrical resistivity on temperature are presented. Laser processing of the samples in the nano- and microsecond ranges is established to promote the work of resistors according to standard and technical conditions when I-U linear dependence is realized.
Keywords: thick films, surface structure, laser processing, electrophysical properties.
Download full-text PDF. 3351 downloads
Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.