ELEKTRONNAYA OBRABOTKA MATERIALOV
ISSN 0013-5739 (Print) 2345-1718 (Online)

Menu

Search results:

  1. ELECTRICAL PRECISION TREATMENT OF MATERIALS, Vol. 39 (2003), Issue 2, p. 4-10

    Освоение и последующее развитие применения различных видов электроэрозионных методов на предприятиях Тулы

    Усов В.С., Тимофеев Ю.С., Усов С.В.

    Download full-text PDF. 2832 downloads

  2. ELECTRICAL PROCESSES IN ENGINEERING AND CHEMISTRY, Vol. 38 (2002), Issue 6, p. 39-42

    Характеристики процесса ионно-химического травления монокристаллического кремния плазмой комбинированного разряда

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 2506 downloads

  3. Vol. 59 (2023), Issue 4, p. 54-64 , https://doi.org/10.52577/eom.2023.59.4.54

    Промышленное применение метода алмазно-электрохимического хонингования

    Усов С.В., Точилин И.П., Жданов А.В.

    Download full-text PDF. 179 downloads

  4. OPERATING EXPERIENCE, Vol. 37 (2001), Issue 6, p. 80-83

    Высокоскоростное удаление фоторезистивных пленок в послесвечении СВЧ разряда в кислороде

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 545 downloads

  5. EQUIPMENT AND INSTALLATIONS, Vol. 38 (2002), Issue 1, p. 79-82

    Классификация СВЧ плазмотронов для производства изделий электронной техники

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 694 downloads

  6. OPERATING EXPERIENCE, Vol. 37 (2001), Issue 2, p. 48-81

    Диагностика удаления фоторезиста с поверхности подложек интегральных схем плазмой СВЧ-разряда в кислороде с использованием оптической спектроскопии процесса

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 636 downloads

  7. EQUIPMENT AND INSTALLATIONS, Vol. 37 (2001), Issue 1, p. 74-76

    Малогабаритная СВЧ-плазменная установка с резонатором прямоугольной формы

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 891 downloads

  8. OPERATING EXPERIENCE, Vol. 37 (2001), Issue 3, p. 72-78

    СВЧ-плазменные процессы в микроэлектронной технологии

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 629 downloads

  9. OPERATING EXPERIENCE, Vol. 38 (2002), Issue 5, p. 78-80

    Влияние на фоторезистивный материал СВЧ плазмохимической обработки

    Бордусов С.В., Зубарева М.М., Сушко Н.И.

    Download full-text PDF. 2519 downloads

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.