Классификация СВЧ плазмотронов для производства изделий электронной техники

Abstract

УДК 621.382.002

Представлена классификация применяемых в производстве изделий электронной техники СВЧ плазмотронов, выполненная по конструктивно-техническим признакам СВЧ аппликатора. Предлагаемая систематизация технических решений СВЧ плазмотронов будет полезна при проектировании и выборе типа СВЧ плазменного источника для решения определенных технических задач, а также при изучении и анализе работы известных технических решений генераторов плазмы этого типа.

Classification of microwave plasmatrons used in the processes of electronic technique devices production is presented. It based on constructive peculiarities and technical features of microwave applicators. The proposed classification of microwave plasmatrons will be useful while projecting and chosing the type of microwave plasma source for certain technical purpose and also for studying and examination well–known constructions of that type plasma generators.

Download full-text PDF. 684 downloads

Menu

Vol. 38 (2002), Issue 1, p. 79-82

Классификация СВЧ плазмотронов для производства изделий электронной техники

Abstract