ELEKTRONNAYA OBRABOTKA MATERIALOV
ISSN 0013-5739 (Print) 2345-1718 (Online)
En
Ru
Menu
Vol. 37 (2001), Issue 3, p. 72-78
OPERATING EXPERIENCE
СВЧ-плазменные процессы в микроэлектронной технологии
Abstract
УДК 621.382.002
Представлена информация обзорного характера о применении плазмы СВЧ-разряда в технологических процессах производства изделий микроэлектроники. Указаны области технического применения СВЧ-разрядов, приводятся основные характеристики формируемых под их воздействием структур.
Microwave plasma discharge applications in manufacturing of microelectronic products are reviewed. Some characteristics and material treatment conditions with microwave discharge technologies are considered.
Download full-text PDF. 628 downloads
Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.