Vol. 48 (2012), Issue 3, p. 88–92

Анализ ионизационных процессов в электроразрядных датчиках сверхнизкого давления

Abstract

УДК 537.58

Дается анализ плазмохимических реакций в азотно-кислородной плазме сверхнизкого давления (p<10^-7 Па) в скрещенных электрическом и магнитном полях. Приводится методика расчета ВАХ, по которой однозначно находится давление в газе.

The analysis of plasma-chemical reaction in nitrogen-oxygen plasma of super low pressure (p<10^-7 Pa) in electric and magnetic field is given. The method for calculation of volt-ampere characteristics (VAC) is proposed. It is shown the VAC data the gas pressure can be determined.

Download full-text PDF. 2948 downloads

Menu

Vol. 48 (2012), Issue 3, p. 88–92

Анализ ионизационных процессов в электроразрядных датчиках сверхнизкого давления

Abstract