Физические параметры плазмы в оптимальных условиях металлизации полимерных материалов

Abstract

УДК 537.525

Рассмотрен процесс металлизации полимерных материалов с использованием магнетронных распылительных систем. Определены концентрация и средняя энергия электронов вблизи подложки. Показано, что предварительная обработка в плазме кислородсодержащих газов и подбор физических параметров плазмы магнетронных систем позволяют оптимизировать процесс металлизации полимерных материалов.

The process for the polymer materials metallization using the magnetron sputtering system has been investigated. Both electron density and mean energy were determined in the near-to-substrate region. It was show that pre-treatment in the oxygen-containing plasmas as well as the adjustment of the magnetron plasma physical parameters provide the optimization of polymer materials metallization process.

Download full-text PDF. 3383 downloads

Menu

Vol. 41 (2005), Issue 4, p. 44-46

Физические параметры плазмы в оптимальных условиях металлизации полимерных материалов

Abstract