Исследование диффузии, растворимости и электрических свойств гадолиния в кремнии

Abstract

УДК 621.315.592.3:546.28’65

Впервые проведены комплексные (методами меченых атомов и авторадиографии, измерения проводимости и эффекта Холла, изотермической релаксации емкости и тока) исследования диффузии, растворимости и электрических свойств гадолиния в кремнии при различных средах отжига и для широкого интервала температур (1100-1250^oС). Установлены диффузионные параметры, растворимость и выявлена акцепторная природа примесей гадолиния в кремнии.

For the first time is complex (for the first time is methods of radioactive traces and autoradiography, measuring of conductivity and Hall effect, of an iso-thermal relaxation of capacity and current) the diffusion, solubility and electrical properties gadolinium in silicon is explored at various mediums of annealing and for a wide interval of temperatures (1100-1250^oС). The diffusion parameters are established, the solubility and is detected an acceptor nature of explored impurities of gadolinium in silicon.

Download full-text PDF. 3032 downloads

Menu

Vol. 42 (2006), Issue 6, p. 76-79

Исследование диффузии, растворимости и электрических свойств гадолиния в кремнии

Abstract