Vol. 48 (2012), Issue 2, p. 79-85

Анализ ионизационных процессов в электроразрядных датчиках низкого давления

Abstract

УДК 537.58

Дан анализ плазмохимических реакций в азотно-кислородной плазме низкого давления (p ≥ 1 Па). Сформулирована система уравнений, на основании которой находится ВАХ. Показано, что по результатам измерения ВАХ можно однозначно найти давление в газе.

The analysis of plasma-chemical reaction in nitrogen-oxygen plasma of low pressure (p > 1 Pa) in electric field is given. The basic system of equation is proposed. It is shown on the VAC data the gas pressure can be determined.

Download full-text PDF. 3067 downloads

Menu

Vol. 48 (2012), Issue 2, p. 79-85

Анализ ионизационных процессов в электроразрядных датчиках низкого давления

Abstract