Энергетическое распределение ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O₂ + Ar

Abstract

УДК 537.525\

Исследовано влияние состава плазмообразующего газа на энергетическое распределение положительных ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O₂+Ar (0–100%) при давлениях газа 1–3 Па и токах разряда 10–30 мА. Обнаружено, что при содержании аргона в смеси более 20% приводит к образованию ионов Ar²⁺ и смещению максимума функции распределения ионов в сторону больших энергий.

The results of investigation of ion energy distribution in cathode region of direct current discharge in O₂+Ar (0–100%) mixture are presented at different plasma parameters (1‑3 Pa pressure, 10–30 mA discharge current). It is shown that Ar percentage more than 20% results to ion of Ar²⁺ formation and shifting distribution maximum to higher energies.

Download full-text PDF. 3015 downloads

Menu

Vol. 45 (2009), Issue 5, p. 44-47

Энергетическое распределение ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O2 + Ar

Abstract

Энергетическое распределение ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O₂ + Ar