Исследование характеристик магнетронных распылительных систем несбалансированного типа

Голосов Д.А., Свадковский И.В., Завадский С.М.

Abstract

УДК 621.793

Представлены результаты сопоставительного анализа характеристик четырех конфигураций планарных магнетронных распылительных систем. Проведены исследования особенностей построения магнитных систем устройств несбалансированного типа. Установлены закономерности влияния характеристик разряда на параметры потоков энергетичных частиц на подложку.

The results of comparative analysis of four configurations of planar magnetron sputtering systems characteristics are introduced. The studies of features of constructing of magnet systems of a magnetrons unbalanced type are carried out. The regularities of influencing of discharge characteristics on parameters of energetic particles fluxes on a substrate are established.

Download full-text PDF. 2592 downloads

Menu

Vol. 38 (2002), Issue 6, p. 66-74

Исследование характеристик магнетронных распылительных систем несбалансированного типа

Abstract