ELEKTRONNAYA OBRABOTKA MATERIALOV
ISSN 0013-5739 (Print) 2345-1718 (Online)
En
Ru
Menu
Vol. 38 (2002), Issue 4, p. 15-23
ELECTRICAL SURFACE TREATMENT METHODS
Исследование эрозии катода в процессе магнетронного распыления численным методом
Abstract
УДК 537.525
Проанализировано влияние параметров разряда в плоском магнетроне постоянного тока на изменение профиля распыляемой мишени. Численным методом подобраны оптимальные условия с точки зрения равномерной эрозии катода.
Correlation between discharge parameters and a profile of the target sputtered in a DC planar magnetron system is studied. With simulation procedure the best conditions are determined for uniform cathode erosion.
Download full-text PDF. 658 downloads
Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.