Vol. 53 (2017), Issue 1, p. 97-102

https://doi.org/10.5281/zenodo.1049058

Экспериментальные исследования электроразрядного датчика низкого давления

Жакин А.И., Луценко А.А.


Abstract

УДК 537.58

 

Проанализированы ионизационные процессы в азотно-кислородной плазме низкого давления (10-3 Па < p < 1 Па) в скрещенных электрическом и магнитном полях. Приведена методика расчета ВАХ, по которой однозначно находится давление в газе. Сравнение теории с экспериментом удовлетворительное.

 

Ключевые слова: ион, электрон, датчик, ионизация, вольт-амперная характеристика, давление.

 

 

The analysis of plasma chemical reactions in nitrogen–oxygen plasma with low pressure (10-3 Pa < p < 1 Pa) is presented. A set of equations is proposed to find the VAC. It is shown that there is a possibility to determine identically the pressure in some gas through measuring the AC. The comparison between theory and experiment is satisfactory.

 

Keywords: ion, electron, detector, ionization, volt-ampere characteristic, pressure.

 
 

Download full-text PDF. 2186 downloads

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.