Влияние ультразвуковых волн на адгезионную прочность золотых покрытий к кремнию

Abstract

УДК 621.315

Рассматривается влияние воздействия ультразвуковых волн на адгезионную прочность пленок Au к кремнию n-типа с удельным сопротивлением ρ »100-200 Ом×см и временем жизни носителей τ » 500-600 мкс при температуре Т = 300 К. Показано, что эффект акустостимулированного улучшения адгезионной прочности системы металл-полупроводник происходит в основном за счет увеличения концентрации ионизованных примесей под влиянием ультразвука.

Influence of ultrasonic waves on adhesive strength of the Au-films to silicon of a n-type with specific resistivity ρ » 100-200 W×cm and time of life of carriers τ » 500-600 μs has been examined at temperature Т = 300 К. It is shown, that the effect of acoustically stimulated of improvement of the adhesive of durability of metal - semiconductor layer occurs basically at the expense of an increase of concentration ionized impurities under in samples exposed to ultrasound.

Download full-text PDF. 1397 downloads

Menu

Vol. 41 (2005), Issue 6, p. 75-78

Влияние ультразвуковых волн на адгезионную прочность золотых покрытий к кремнию

Abstract