научный журнал
Электронная обработка материалов
ISSN 0013-5739 (Print) 2345-1718 (Online)

Том 45 (2009), Номер 5, стр. 44-47

ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ТЕХНИКЕ И ХИМИИ

Энергетическое распределение ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O2 + Ar

Холодков И.В.


Аннотация

УДК 537.525\

 

Исследовано влияние состава плазмообразующего газа на энергетическое распределение положительных ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O2+Ar (0–100%) при давлениях газа 1–3 Па и токах разряда 10–30 мА. Обнаружено, что при содержании аргона в смеси более 20% приводит к образованию ионов Ar2+ и смещению максимума функции распределения ионов в сторону больших энергий.

 

The results of investigation of ion energy distribution in cathode region of direct current discharge in O2+Ar (0–100%) mixture are presented at different plasma parameters (1‑3 Pa pressure, 10–30 mA discharge current). It is shown that Ar percentage more than 20% results to ion of Ar2+ formation and shifting distribution maximum to higher energies.

 

 
 

Скачать полнотекстовый PDF. 2705 скачиваний

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.